潔凈度分級(jí) 1963年,美國(guó)出了個(gè)潔凈室聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FedStd209。在209標(biāo)準(zhǔn)中,潔凈室按環(huán)境中每立方英尺空間≥0.5μm的粉塵最大數(shù)量限度分成若干級(jí)別,如100級(jí)、10,000級(jí)、100,000級(jí)。我們過(guò)去的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)也是按這種方法分級(jí)的。1999年,國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO頒布了潔凈室國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO1...